真空等离子处理仪在一定的真空条件下，对气体施加能量使其成为等离子状态，等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等，通过利用这些活性组分的性质高效清洗微观和纳米级别的表面污垢和有机物。通过使用等离子体处理样品表面从而实现表面清洁，表面改性，表面刻蚀，表面接枝的目的，最后将污染物转化为气态，并通过真空泵用连续气流将其排出等离子清洗仪