��ࡱ�>�� ���������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������� ���� !"#$%����������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������Root Entry�������� �FP���4�@SummaryInformation(����HDocumentSummaryInformation8������������ �WordDocument��������., ���� �������� !"#$%&'()*+,-./0123456789:;<=>?@ABCDEFGHIJKLMNOP�������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������������� �����Oh��+'��0�������( < H T ` lx�����m3W^�y�Rf��NhV��Y gP�lQ�S�_o�(u7bNormalnice4@@�nT9O@ Q����@�=�4�@�eG��s�<WPS Office_11.1.0.9662_F1E327BC-269C-435d-A152-05C5408002CA�� ��՜.��+,��D��՜.��+,��d �������������   ��_o�-N�V �(\�dlKSOProductBuildVer�2052-11.1.0.9662&0Table����bData ����������������WpsCustomData������������ ���������������� P��KSKS�.,������������< <[�J`� $� h? XF��# h  :S+R��R��0O�R0M�nI{ �zf�Q�|R�]\O�S�~xQ�|R�]\O�S�R��1.&{TYY/T 1539-20170JG/T 292-2010I{h�Q 2.(u7b�S�Na6R�[Θ� ��S9hnc(u7b�`�QΘ�(W0. 20-0. 50m/s��V�Q�e�g�� ����|�^0. 01m/s 3.Y�󗾋�� ��O���d\O�NXT�v��'` 4�zf��R`Θ����� ��O��Θ��r`3z�[ 5�zf���N����� �O\=���d\OΘi� ��d\OMR�z�ǏN+}Yop0LEDop0Θ:gzf��ޏ� ��f�[hQ 6.+}Yop@g̃���~���� ��S�[�s+}Yop(W�Na�e���kꁩR_/TsQ� ��e�O�[hQ 7��[�e>f:yǏ�nhV�[}T�SΘ:g0+}YopЏL��e�� ��e�O�[hQ 8.�ؚ'`�������s�OΘ:g �jV�NO0���NO0He�sؚ 9�d\O:Sm�Q�^��0RISO14644-1Class4, �vS_�N10�~m�Q�^��Onc�T���209Eh�Q � 1.m�QI{�~O�N100�~�Ǒ(u;��q�s�t�~�~ؚHeǏ�nhV�HEPA) 99. 99%@0. 3um, m�Q�^O�N ISO14644. 1�v5�~�b�hFED STD 209E 100�~ ���Bl ��fm�Q�f�[hQ 2.zf���N��gqfopN+}YopT��R�N����� ��[hQ2��b � gHe2�bk�NXT��d\O 3��m�Q�R���(W�N�TO(uR ��[�d\Ozz��HQۏL�m�Q��Yt �O(u7b(WՋ���v�eP�[7h�Tw�0R�N�O�b 4�+}Y@g̃���~N)R�wQ g+}Y@g̃�[�e/T�R���~�R�� �Ǒ(uN)R�b/g ��~(u7b�fYOo` ��cؚ�]\OHe�s � 5�+}Y@g̃�^�e/T�RN)R�+}Yop_sQ c NT ��XIQ�c���d\O��S�e�y_ ��^�e10�y��T+}Yop�p�N ��O �b�d\O�MQ�S+}Ygq\$O�[0 (*N)R�b/g �O�R1.�X�Rck�S�[���� ��O��Θ�GWS'`�S�[\'` 2.�N�T>P�e_����&{T�NSO�] zf[ ��X�R�d\O��'` � N�[f�u�R 3.�d\O�Sb�:NO(�304 N���NSOb�W �fnm2�al�g 4.MR�z�s�t�S�]�S�O�s�t �(u�e�SIQ��S�s�t �2�+}Y�~ �fnm 5.�]�S�O�s�t�����[ňT[ ��e�O(u7bM�WYO(u �N�TM�n�W�v�4ls^� HYPERLINK "mailto:1.99.99%@0.3umؚHeǏ�n" 1.99.99%@0.3umؚHeǏ�n 2.�QΘGWAm���� 3.304 N���NSO_�Sb�6mm2�+}Y�~��S�s�tT̀g���� 4.NT�n� ��e�O�y�R ��^����� �3z�[s^a� 5.�NSO�] zf[���� �v��ۏΘ0ΘL]_gqf ��MQtv��������������{m_QC5PJo(H*mH sH nHtHPJo(H*mH sH nHtHPJo(H*mH sH nHtHPJo(H*mH sH nHtHPJo(H*mH sH nHtHPJo(H*mH sH nHtHPJo(H*mH sH nHtHPJo(H*mH sH nHtHPJo(H*mH sH nHtHPJo(H*mH sH nHtHPJo(H*mH sH nHtHH*o(mH sH nHtHH*o(mH sH nHtHH*o(mH sH nHtHH*o(mH sH nHtH���������o(PJo(H*mH sH nHtH#B*ph�PJo(H*mH sH nHtHPJo(H*mH sH nHtH.>@F����J@ �!$If�$$If:V6����4�l4�l��0�������F��| eN)���� ���� ���� ���� �����5�� 5�� �!$If �!$If �!$IfdF� $ J � � " T � � ( � � ������������} �!$If �!$If �!$If �!$If �!$If �!$If �!$If �!$If �!$If �!$If �!$If �!$If �!$If � ( � �   ����E; �!$If�$$If:V6����4�l4�l��0�������F��| eN)���� ���� ���� ���� �����5�� 5�� �!$If �!$If �!$If �!$If L � � � *,.������� �!$If �!$If �!$If �!$If �!$If �!$If �!$If.0:B��mcYL9a$$WD,�v`�v �!$If a$$ �!$If �!$If �!$If�$$If:V6����4�l4�l��0�������F��| eN)���� ���� ���� ���� �����5�� 5�� �>v����������za$$WD,�v`�v �!$Ifa$$WD,�v`�v �!$Ifa$$WD,�v`�v �!$Ifa$$WD,�v`�v �!$Ifa$$WD,�v`�v �!$Ifa$$WD,�v`�v �!$Ifa$$WD,�v`�v �!$If���mg �!�$$If:V6����4�l4�l��0�������F��| eN)���� ���� ���� ���� �����5�� 5�� ,��. ��A!��#�@"��$��%��S��2P1�866666666���� 0@P`p������6666 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p������ 0@P`p��J@��Jck�e a$$1$ CJaJKHmH sH nHtH_H$A@���$؞���k=�W[SONi@���Nnf�h�*4�O��A4yb�lFh�e,g W[&{ CJaJKH.�O��Q.u�� W[&{ CJaJKH8B@b8ck�e�e,gUD��g]�g ��"N@rNu� w'a$$G$&dP�� �9r CJaJ< @�<u��a$$G$ �9r CJaJ.�@�.yb�lFh�e,gCJaJf�@��fQ